品牌 | Agilent/安捷倫 | 價格區間 | 2萬-3萬 |
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儀器種類 | 真空泵 | 產品類型 | 無油泵 |
產地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子 |
極限壓強 | 250mTorr |
一、Harrick Plasma等離子清洗機真空泵IDP-3 產品特點:
1、采用獨立馬達與軸承的密封設計;
2、系統運行穩定,低噪聲、低振動、低泄漏;
3、與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強;
4、外型尺寸:351x181x140mm
5、電源系統:電壓 200 ~ 220 VAC (50/60 Hz)
6、適用于小型等離子體設備把氧氣作為工藝氣體環境;
二、Harrick Plasma等離子清洗機真空泵IDP-3 技術參數:
抽速 | 50Hz, 50 l/m, 3 m 3 /hr, 1.8cfm |
極限壓強 | 2.5X10 -1 torr/3.3X10 -1 mbar |
進氣口壓強 | 低于1 個大氣壓/0PSI |
出氣口壓強 | 低于1.4 個大氣壓 6.5PSI |
進氣口法蘭 | NW16KF 法蘭 |
出氣口法蘭 | 1/4NDP |
工作溫度 | -5-45℃/41-113℉ |
存放溫度 | -20-60℃/41-113℉ |
發動機功率 | 0.16 馬力/0.12kW |
電源 | 單相,-220-240VAC,50-60Hz |
轉速 | 2600PRM |
冷卻 | 空氣自然冷卻 |
重量 | 9.5Kg/21Ibs |
漏率 | <1X10 -6 std-cc/sec |
噪音(每 ISO1120) | 55db/A |
進氣口震動(每 ISO10816-1) | 1.5mm/sec |
限制 | 不要接近易腐蝕,易爆物及特殊氣體 |